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原
げん
子
し
層
そう
エピタキシー
Meanings
Noun
1. atomic layer epitaxy; ALE; atomic layer deposition; ALD
Kanji used
原
original
子
child
層
layer
Composed of
原
げん
子
し
atom
層
そう
layer; stratum; class; stratum; sheaf; counter for stories (of a building)